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  • 深圳市金徠技術有限公司

    ShenZhen City JinLai Technology Co.,Ltd.

    真空等離子清洗機 60L

    • 產品型號 JL-VM60
    • 產品類別 真空等離子清洗機
    • 應用范圍

      微組裝模塊的引線鍵合前清洗,清洗過程不會損傷裸芯片等敏感、易損器件;對電子材料、金屬材料、塑料、玻璃、橡膠、PTFE等,表面進行清洗,活化改性,去有機物,去氧化物,去顆粒;提升親水性,增強粘接性,附著力,分子活性。


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    微組裝模塊的引線鍵合前清洗,清洗過程不會損傷裸芯片等敏感、易損器件;對電子材料、金屬材料、塑料、玻璃、橡膠、PTFE等,表面進行清洗,活化改性,去有機物,去氧化物,去顆粒;提升親水性,增強粘接性,附著力,分子活性。

    型號

    JL-VM60

    等離子源系統

     

    13.56MHz  射頻

    40KHz  中頻

     

    0~1000W可調

    0-3000W可調

                

    真空系統

    真空腔體

    材質

    316L不銹鋼、航空鋁(選配)

    腔體內部尺寸(MM)

    400*400*400(寬高深)

    腔體容積

    60L

    極板

    5層極板5層托盤可拆卸式,層間距30mm,水平式,活動可調節

     可放最大產品尺寸

      320mm*280mm

    密封性

    軍工級焊接密封

    泵組

    油泵/干泵+羅茨泵組合(選配)20?/H

    真空管路

    不銹鋼管、不銹鋼波紋管

    真空計

    1×105~1×10-1Pa

    質量流量計

    ±1% FS  質量流量控制(MFC)系統

    氣路控制

    2-4路處理氣體氣路,氣體流量可調

    真空度基礎壓力設定范圍

    10Pa-50Pa

    適用氣體

    流量范圍

    0-500SCCM(可調)

    工藝氣體

    Ar、N?、O?、H?等等(可選)

    控制系統

    1、PLC 自動控制;

    2、7寸觸摸屏,圖形用戶界面;

    3、配方程序為 0~99;

    4、多級權限操作;

    5、圖形化曲線圖自動監測工藝參數狀態及錯誤信息;

    6、存儲工藝數據及錯誤信息;

    7、配備聲光報警裝置,報警信息提示及追溯;

      8、保護功能:工作氣體耗盡報警、壓縮空氣力低于設定值報警、反應倉泄露率過大報警、控制面板處設急停按鈕等

      9、免靜電清洗等多種清洗模式

    10、圖形化界面檢測處理參數;

    11、自動、手動操作可切換;

    12、維護提示緊急停止按鈕;

    13、門感應器和真空互鎖;

    14、顯示功能:工藝參數顯示;運行時間顯示;工藝過程實時監視并顯示運行狀態,如泵的、射頻電源監視并顯示運行狀態,如泵的、射頻電源監視并顯示運行狀態,如泵的、 射頻電源質量流量等;故障報警,提示項目

    15、機器運行信號指示;

    16、機器運行結束提示;

    17、設備無WIFI,無藍牙,無讀卡器等相關裝置

    外觀參數

    外形尺寸(MM)

    850*1700*1020(寬高深)

     

    320KG

    設施配置

     

    五線線三相制AC220V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設計規范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規范》等國標標準相關規定

    整機功率

    2KW

    壓縮空氣

    干燥壓縮空氣CDA 0.5MPa

     

    提供操作手冊、維護手冊、安裝手冊,易損件備件清單.


    真空等離子清洗機 60L應用

    微組裝模塊的引線鍵合前清洗,清洗過程不會損傷裸芯片等敏感、易損器件;對電子材料、金屬材料、塑料、玻璃、橡膠、PTFE等,表面進行清洗,活化改性,去有機物,去氧化物,去顆粒;提升親水性,增強粘接性,附著力,分子活性。

    微組裝模塊的引線鍵合前清洗,清洗過程不會損傷裸芯片等敏感、易損器件;對電子材料、金屬材料、塑料、玻璃、橡膠、PTFE等,表面進行清洗,活化改性,去有機物,去氧化物,去顆粒;提升親水性,增強粘接性,附著力,分子活性。


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