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  • 深圳市金徠技術有限公司

    ShenZhen City JinLai Technology Co.,Ltd.

    等離子刻蝕機 150L

    • 產品型號 JL-E150
    • 產品類別 等離子刻蝕機
    • 應用范圍

      適用于所有的基材及復雜的幾何構形都可以進行等離子體活化、刻蝕、清洗、鍍膜。



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    進行介質刻蝕、硅刻蝕、金屬刻蝕,實現各項異性刻蝕,保證細小圖形轉移后的保真性。

    型  號

    JL-E150

    等離子源系統

    頻  率

    13.56MHz  射頻

    功  率

    0~500W   可調

    真空系統

    真空腔體

    材質

    石英、航空鋁(選配)

    腔體內部尺寸(MM)

    360*800*650

    腔體容積

    150L

    極板

    4層

    密封性

    軍工級焊接密封

    真空泵

    干泵

    真空管路

    不銹鋼管、不銹鋼波紋管

    真空計

    薄膜硅

    氣體流量計

    <±1% FS

    氣路控制

    2路處理氣體氣路,氣體流量可調

    極限真空

    3Pa

    適用氣體

    流量范圍

    0-500SCCM(可調)

    工藝氣體

    Ar、N?O?、H?等等(可選)

    控制系統

    1、PLC 自動控制;

    2、7寸觸摸屏,圖形用戶界面;

    3、配方程序為 0~99;

    4、多級權限操作;

    5、圖形化曲線圖自動監測工藝參數狀態及錯誤信息;

    6、存儲工藝數據及錯誤信息;

    7、報警信息提示及追溯;

    8、圖形化界面檢測處理參數;

    9、自動、手動操作可切換;

    10、維護提示緊急停止按鈕;

    11、門感應器和真空互鎖;

    12、機器運行信號指示;

    13、機器運行結束提示;

    外觀參數

    外形尺寸(MM)

    1020*1700*1050(寬高深)

    重  量

    800KG

    設施配置

    電  力

    五線,三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設計規范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規范》等國標標準相關規定。

    壓縮空氣

    干燥壓縮空氣CDA。

    其  它

    提供操作手冊、維護手冊、安裝手冊,易損件備件清單。


    等離子刻蝕機 150L應用


    1、小技巧、操作簡單、易維護。

    2、引進德國核心等離子技術,質量有保障。
    3、進口針閥精密流量控制計,精度高。

    4、材質耐腐蝕,環保不產生金屬污染。
    5、多路工藝反應氣體通道,保證產品清洗效果。

    6、可以根據客戶需求定制。



    1、小技巧、操作簡單、易維護。

    2、引進德國核心等離子技術,質量有保障。
    3、進口針閥精密流量控制計,精度高。

    4、材質耐腐蝕,環保不產生金屬污染。
    5、多路工藝反應氣體通道,保證產品清洗效果。

    6、可以根據客戶需求定制。

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